石墨舟装片房和石墨舟装载房是做什么用的？

石墨舟装片房和石墨舟装载房是做什么用的？

深圳石墨模具舟晶圆装载室：太阳能行业使用，配合PECVD载具，装载硅片，准备中效、高效过滤器，保证吹送的空气达到净化要求。

深圳石墨模具舟的工作原理：

空气经过高效过滤后，阻尼层被均匀压紧，使洁净的气流垂直单向送入晶片装载工作区，保证了工作区的清洁度达到工艺要求，操作人员在洁净的环境下将硅片装载到石墨舟内。

深圳石墨模具船的主要特点：

1.石墨舟装卸车能够准确定位；

2.采用不锈钢制造，整机结构牢固可靠；

3.使用三个GK系列高效空气过滤器。

4.PECVD载具可倾斜15度或内部旋转180度；

5.净化风机噪音小于50dB。

6.确保工作区的洁净度达到工艺要求的100级。

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