单晶炉石墨热场都有哪些主要组件？

  在太阳能光伏产业中，单晶硅的质量直接关系到单晶硅的质量。合格的热场可以生长出高质量的单晶，所以创造良好的热场条件在直拉单晶技术中有一个非常重要的因素。石墨是单晶生长的载体。在直拉单晶生长炉中，高纯石墨和等静压石墨是主要的石墨工件。

  根据实际情况的需要，热场的大小按应时坩埚的直径来划分。目前我国热场从φ 12”到φ 28”不等，一般情况下以φ 18”到φ 22”居多。

  我们这里说的单晶炉的热系统就是所谓的热场，一般包括压环、保温罩、上、中、下保温罩、(三瓣)石墨坩埚、坩埚支撑杆、坩埚托盘、电极、加热器、导流管、石墨螺栓。为了防止以后漏硅，炉底、金属电极、支撑杆都配有保护板和保护套。

1、保温罩

保温罩分为上保温罩、中保温罩和下保温罩，保温罩由保温筒外包裹石墨碳毡构成，石墨碳毡包裹的层数视情况而定。下保温盖构成底部保温系统，用于加强锅底保温，提高锅底温度，减少热量损失。

2、绝缘盖和通风管

绝缘罩由绝缘上罩、绝缘碳毡和绝缘下罩组成，即两层环形石墨中间夹有一层石墨碳毡。导流管主要用于控制热场的温度梯度，并在以后引导氩气流动。

3、压力环

石墨压环是由若干圆弧组成的圆形石墨片，放置在盖板与炉壁的接触处，防止热量和气体通过壁炉与盖板之间的缝隙。

4、加热器

加热器是热场中非常重要的一部分，是直接加热体，温度高的时候可以达到1600度以上。常见的加热器有圆柱形、杯形和螺旋形三种形状。一般来说，加热器由高纯度石墨制成。

5、石墨电极

石墨电极的作用是稳定地固定加热器，并通过其他加热器输送电流。所以电极要厚，耐用，光滑平整，保证良好的接触面。通电时不打火，石墨电极也是用高纯石墨加工的。

6、石墨坩埚、石墨支撑杆和石墨托盘

坩埚支撑杆、坩埚和托盘共同构成石墨坩埚的支撑体，应与下轴结合牢固。当下轴转动时，中性好，摆率小于等于0.5毫米的石墨支撑体的高度可以调节。