石墨热场的重要性
发布时间:2021-07-23 14:12:36
石墨原材料的选择和加工工艺上非常关键 !
直拉单晶炉的热系统,也就是所谓的热场,是指为了熔化硅料,并使单晶生长保持在一定温度下进行的整个系统。
热场一般包括(石墨材料)压环、保温盖、上中下保温罩、石墨坩埚(三瓣埚)、坩埚托杆、坩埚托盘、电极、加热器、导流筒、石墨螺栓,
且为了防止漏硅,炉底、金属电极、托杆、都设置了保护板、保护套。
21世纪,越来越多的用户开始注意到石墨材料,石墨具有耐高温、导电、导热性良好、润滑性等主要特点,
抗热震性等在新能源引领未来的时代,石墨热场以及部件在单晶硅的制造中起着关键的载体作用。
在真空炉中热场是决定单晶硅好坏的决定因素,通过对石墨热场的了解,决定热场石墨组件的好坏的因素有很多,
其中石墨原材料的选择和加工工艺上非常关键。