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石墨靶材会在哪个分类和应用领域?

作者://www.satelraham.com 发布时间:2023-12-26 16:47:31

     石墨靶材这种产品很多人听了,都应该会很陌生,而靶材的应用领域适当广泛,如半导体、显示面板、电子、光学等,而靶材是有不同资料的,像石墨靶材、金属靶材、陶瓷靶材,不同资料的靶材在应用领域上不同,接下来看看靶材怎么进行分类和应用,石墨靶材会在哪个分类和应用领域。
    石墨靶材限制了薄膜的物理机械性能,影响涂层的质量。因而,靶材的质量评价比较严厉,主要需要满足以下要求:
1、质量低:纯度高,靶材纯度影响薄膜的均匀性。
2、密度:高密度靶材具有导电性、导热性好、强度高级长处。该靶材用于镀膜时,溅射功率小,堆积速率快,膜层不易破裂,靶材寿命长,溅射薄膜电阻率低,透过率高。 3、散布均匀:组织结构均匀。靶材资料的均匀成分是确保一致的涂层质量的关键因素。
4、粒径小:靶材晶粒尺寸越细,溅射薄膜的膜厚散布越均匀,溅射速度越快。

   

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