服务热线:0769-89392518 手机:13549365158

石墨坩埚在热场系统中的功能是什么?

作者://www.satelraham.com 发布时间:2023-10-28 16:39:49

         直拉法出产单晶硅是现在制备单晶硅的最主要方法,热场系统是硅资料成晶的最重要的条件之一,热场的温度梯度散布直接影响着是否能顺畅地拉出单晶和控制单晶的质量好坏。因此热场的设计和改善对一个有竞争力的拉晶厂家来说非常重要。
石墨坩埚在热场系统中的功用 :
    在拉制单晶的过程中,石墨坩埚作为要害核心部件的主要效果有如下几点: 
    (1)高温承载效果:装满多晶硅材料的石英坩埚要置于石墨坩埚里边,石墨坩埚要承载石英坩埚和多晶硅等材料的分量,确保高温石英坩埚变软后,材料不会走漏出来,而且在拉晶过程中要承载材料做旋转运动,因此,对其力学功用要求比较高;
    (2)传热效果:坩埚通过本身优良的导热功用,传导多晶硅材料消融所需的热量,消融温度在1600℃左右,因此,坩埚有必要要有杰出的高温导热功用;
    (3)安全效果:在紧急情况停炉时,因为多晶硅冷却时体积胀大(大约为10%),坩埚短时间内会接受很大的应力,因石墨资料本身的强度较低,石墨坩埚在这种情况下一般都会迸裂而报废,甚至损坏相邻部件甚至整个热场,因此石墨坩埚强度较低是单晶出产稳定的隐患,急需更新换代,运用符合拉晶需求的抗折强度大的产品。



Baidu
map