什么是石墨舟装载室？

     石墨舟装载室:用于太阳能工作和PECVD运载车辆支撑，装载硅片，制备中高效过滤器，保证吹出的空气满足净化要求。 
    石墨舟作业原理: 空气经过高效过滤后，均匀压入阻尼层，使洁净气流垂直、单向送入负载作业区，然后保证作业区的洁净度满足工艺要求。操作人员在清洁的环境中将硅片安装到石墨舟上。
石墨舟主要特点: 
    1、能精确地使石墨舟轴承板小车定位;
    2、全不锈钢制作，整机结构健壮牢靠;
    3、选用GK系列高效空气过滤器3台;
    4. PECVD运载车辆内部可倾斜15度或旋转180度;
    5、净化风机的噪声小于50dB.
    6、保证作业区域的洁净度达到工艺要求100级。