半导体工业用石墨制品有什么要求？

      半导体工业用石墨制品有较低灰分、高纯的功能要求，一般需求用到高纯石墨，通过纯化工序能够抵达5~50ppm，在半导体工业中，高纯石墨主要是作为加热体系、保温罩、电极等存在，选用高纯石墨做这些部件也是充分利用了高纯石墨耐高温这一特色。高纯石墨的耐腐蚀、抗氧化、导电导热的长处运用到了半导体工业中，使工件运用寿命更长、更加减磨省电。我司选用德国半导体等级石墨材料，精密制造离子注入用石墨耗材，供应标准件及客制化规格。
    高纯度石墨根据均匀细颗粒的特性可作为低原子序数材料，对离子、等离子具有较强的抗炮击才干，很强的抗腐蚀性，纯度高没有金属离子不会对半导体产生污染，金属部件暴露在离子注入设备中会形成高的损耗，故这时运用相应的石墨件来作屏蔽罩。用于等离子cvd用部件
    等离子vcd用感受器、电极室、喷嘴、内衬、溅射用电极、movcd感受器等。
半导体石墨模具、燃料电池导流板、石墨基体、切硅棒用石墨垫、电子束蒸发用石墨内衬、玻璃金属封装用石墨舟、电子烧结模用石墨、离子注入用石墨部件、 单晶炉用石墨热场等。