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高纯石墨热场的行业标准是什么?

作者://www.satelraham.com 发布时间:2022-09-28 11:48:57

   在多晶硅炉热场中,高纯石墨热场的工程造价相当高。现在制造高纯石墨热场的厂家很多,所以高纯石墨热场和石墨工件参差不齐。一套合格的高纯石墨热场,在制造多晶硅和多晶体时,会节省大量成本。因此,在购买高纯石墨热场和热场配件时一定要提高警惕。

1.斜球面的制作加工:将切割数控刀片放置在缺口处,调整切割数控刀片的镗刀在水果刀壁上的视角,使镗刀与径向的夹角等于内引流管锥角的一半,进行斜选,钻到设定的内引流管底端, 其中倾斜选择的总宽度与所设置的内引流管和外引流管之间的总轴向宽度相同。

   热场即热系统软件,一般指机械设备中多晶硅炉的高纯石墨热场,也就是说多晶硅炉中的热系统软件。多晶硅炉是在稀有气体(以N2和氦气为主)的自然环境下,用高纯石墨电加热器熔化光伏电池等多晶原料,用直拉法生长发育无位移多晶硅的机械设备。一种高纯石墨热场的制造方法,其特征在于,包括以下步骤:使用绘图工具在电子计算机上进行嵌套仿真设计方案:根据石墨坩埚、外导流管和内导流管的规格绘制二维图形,然后将石墨坩埚、外导流管和内导流管的二维图形套装在一起,根据高纯石墨原料的长宽比调整各部件之间的间距及其钻孔量,使用绘图工具对仿真部件进行标记。

2.管理中心孔的制作、加工和分离:根据内引流管底部孔的尺寸,在高纯石墨原料管理中心沿内引流管底部用数控刀片制作加工一个圆柱形孔, 然后用L型数控刀片沿孔底轴向钻加工内引流管的倾斜球面,钻至产生加工倾斜球面的部位,将内引流管毛坯与高纯石墨原料分离。

3,根据工艺图工程图获得的外引流管毛坯生产加工的主要参数,按照工艺模式进行外引流管毛坯和石墨坩埚毛坯的钻孔生产工艺。

动词 (verb的缩写)内引流管、外引流管和石墨坩埚的成型及生产工艺:将分离后的内引流管坯体和石墨坩埚坯体按照规定的规格仔细钻孔加工,以获得所需的内引流管、外引流管和石墨坩埚。  

内外导流管坯和石墨坩埚坯的钻孔工艺;

4.轴向球面的生产加工:将高纯石墨原料夹在卧式车床的液压卡盘上,根据获得的内引流管坯生产加工的主要参数,在高纯石墨原料的*端预埋内引流管外侧的长宽比,然后用固定在水果刀壁上的斜数控刀片进行轴向选择, 沿一圈原料切割出一个环形缺口,缺口的上端切割到内引流管的外侧与内引流管的连接处。



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