怎样增加石墨坩埚的抗氧化能力

怎样增加石墨坩埚的抗氧化能力

经过河北埚的技术人员研究发现，对以金属硅粉为主要渗料，在密闭的匣钵内采用包埋法的工艺，可以制得结构合理具有功能 梯度特征的符合涂层，即sic过渡层-sic致密层-si-sio2多相涂层。以sic为主成分的外层，随着高温保温时间的延长，涂层厚度增加 ，sio2含量增多。该涂层与基体的结合主要以化学结合为主，兼有机械结合，结合强度高。对涂层后的石墨坩埚进行抗氧化测试，测 试结果表明：包埋法制备的抗氧化涂层，在1100℃-1300℃具有较突出的抗氧化性能。浸涂形成的单涂层主要以sic和si3n4为主。抗 氧化测试结果表明，单涂层具有良好的抗氧化效果，但是由于涂层与基体膨胀系数的差异，导致涂层的抗热震性能差，涂层容易剥落 ，制备复合涂层的时候，内部涂层以sic为主，外部涂层分别涂覆MoSi2和AL2O3，在1000℃-1300℃的温度范围内，抗氧化效果不明显 。 根据石墨涂层性能测试结果，采用包埋法制备石墨坩埚抗氧化涂层，可显著提高石墨坩埚的抗氧化能力，降低石墨坩埚基体的气孔率 ，提高石墨坩埚抗折强度。