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单晶炉配件之石墨热场的选购

作者://www.satelraham.com 发布时间:2019-10-09 10:10:25

单晶炉配件之石墨热场的选购
东莞市捷诚石墨制品有限公司专业生产单晶、多晶石墨热场配件,石墨加热器、石墨保温桶、三瓣锅、石墨坩埚、石墨托、石墨斧等各种石墨制品。 直拉单晶制造法(Czochralski,CZ法)
  直拉单晶制造法(Czochralski,CZ法)是把原料多硅晶块放入石英坩埚中,在单晶炉中加热融化 ,再将一根直径只有12mm的棒状晶种(称籽晶)浸入融液中。在合适的温度下,融液中的硅原子会顺着晶种的硅原子排列结构在固液交界面上形成规则的结晶,成为单晶体。把晶种慢慢旋转并向上提升,融液中的硅原子会在前面形成的单晶体上继续结晶,并延续其规则的原子排列结构。若整个结晶环境稳定,就可以周而复始地形成结晶,最后形成一根圆柱形的原子排列整齐的硅单晶晶体,即硅单晶锭。当结晶加快时,晶体直径会变粗,提高升速可以使直径变细,增加温度能抑制结晶速度。反之,若结晶变慢,直径变细,则通过降低拉速和降温去控制。拉晶开始,先引出一定长度,直径为3~5mm的细颈,以消除结晶位错,这个过程叫做引晶。然后放大单晶体直径至工艺要求,进入等径阶段,直至大部分硅融液都结晶成单晶锭,只剩下少量剩料。停炉后取出单晶棒,一个工艺过程结束。

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一、单晶硅石墨热场,是一个及物理.化学.几何综合理论为一体,专门研究人员经过多年反复考证。多年经验总结制定。
二、热场采用细结构中粗石墨做炉底护盘.保温罩.上下盖。采用进口等静压石墨做加热器.坩埚.导流筒.托杆.锅托等,保证了石墨坩埚的强度.及纯度。
三、热场是单晶硅成晶的重要条件之一,热场的梯度分布直接影响着能不能拉出单晶,以及拉制单晶的质量好坏,其材质好坏直接影响热场寿命。本公司与中国最早生产单晶硅企业合作十几年。合作结合国内外石墨材料一同研制成功18-22寸石墨热场,成立了自己的石墨热场本公司的石墨热场经过晶龙集团.常州天合.河北逐鹿单晶硅生产基地。长期应用,对所用石墨材料及整个热场寿命加以肯定。为以后生产特制定如下标准。

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