中英联手攻关悬浮石墨烯传感芯片

中英联手攻关悬浮石墨烯传感芯片

石墨烯具有优异的光学、电学、力学特性，在材料学、微纳加工、能源、生物医学和药物传递等方面具有重要的应用前景，被认为是一种未来革命性的材料。石墨烯常见的粉体生产的方法为机械剥离法、氧化还原法、SiC外延生长法，薄膜生产方法为化学气相沉积法(CVD)。

由于具有高导电性、高导热性、高强度和独特的二维结构，石墨烯成为新材料研发的热点。8月21日，东旭光电副总裁、石墨烯事业部总裁冯蔚东博士表示，作为石墨烯发源地、全球石墨烯科研中心的英国曼彻斯特大学，将与东旭光电等合作，致力于悬浮石墨烯传感芯片产品的研发和商业化应用推广。

中国科学院院士、北京石墨烯研究院院长刘忠范说，悬浮石墨烯传感器技术应用无论在学术界还在产业界均属首例。双方合作有望带来开启全球石墨烯产业化应用面向全新时代的标志性产品。

石墨烯高端应用在全球呈快速发展趋势。美国、欧盟、日本等80多个国家皆将石墨烯材料发展提高到战略高度，欧洲石墨烯旗舰计划、韩国国家石墨烯计划、新加坡国家石墨烯研究院等相继实施和落地。我国作为全球石墨烯产业化发展最活跃的地区，已在涂料、采暖器和电热膜等工业领域实现了石墨烯应用零的突破。

CVD（化学气相沉积）法生产石墨烯是将碳原子沉积在特定基体上的一种生产单层石墨烯方法，但其具有转移步骤成本高，导电率低的缺点。硅晶圆悬浮石墨烯技术是通过传统半导体工艺，形成上表面为单层石墨烯薄膜的悬浮腔体阵列，最终形成硅晶圆表面的悬浮石墨烯阵列。

冯蔚东说，悬浮石墨烯传感芯片技术为CVD石墨烯薄膜“分布”创造了独特的解决办法，使石墨烯能更好发挥其电学和力学性能。悬浮石墨烯传感芯片技术在力学、温度、湿度检测以及传感等领域将有广阔的应用前景。

近年来，石墨烯产业产品布局已悄然变化。在2019年WMC世界移动通信大会上，石墨烯5G调制器、石墨烯宽带成像设备等系列高端石墨烯应用悉数亮相，这些应用也意味着石墨烯从“工业味精”到“工业主角”、从辅材到主材的转变，逐步成为不可替代的“超级材料”。

诺贝尔物理学奖得主、英国曼彻斯特大学教授康斯坦丁·诺沃肖洛夫说：“石墨烯在光电领域的应用是最令人兴奋的事情之一，曼大与东旭光电的合作模式令人振奋，这将催生大量潜在应用场景。”

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